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総合技術

次世代クリーンルーム関連技術

揺らぎを排除した次世代クリーンルームの関連技術
微細振動制御
微細振動測定値例
微細振動測定値例
微細振動測定
微細振動測定
  • 最適な高剛性嫌振架台デザイン
  • 建物・設備・装置を一体とした予測・評価
  • 施工中・施工後の微振動測定

加速度0.5gal・振幅1µm (1~100Hz) 以下

ケミカル汚染(含む有機汚染)制御
ケミカル汚染測定例
ケミカル汚染測定
  • ウェーハ・ガラス基板上吸着特性を考慮した材料選定
  • ボロン・リンを含有しない材料選定
  • 樹脂材料使用を最小にするデザイン
  • 施工後のケミカル量測定

吸着総有機量1000pg/cm² 以下

帯電電位制御
帯電電位測定例
帯電電位測定
帯電電位測定
  • 表面抵抗値考慮した材料選定
  • 仕上げ部材の効果的アース接続を前提とした設計・施工
  • 施工後の帯電電位測定・評価

壁体表面帯電電位5V(at23℃ 45%)以下

電磁波制御(シールド)
シールド性能測定例
シールド性能測定
  • 電磁遮蔽性能を考慮した材料選定
  • 施工後のシールド性能測定

CRシールド性能30dB(~300MHz)以上



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