アクティブ免除振装置

微細振動を低減、地震時の揺れを低減

概要

半導体の高集積化が進み、製造・検査時の振動に対する要求性能が厳しくなる傾向にあります。 アクティブ免除振装置は、振動を嫌う装置を設備機器や人の歩行による振動から絶縁する装置で地震国日本であることを考慮し、免震機能も付加されています。

特徴

• ・設備機器や人の歩行による振動を1/10以下に除振
• ・震度2までの地震時の揺れも1/10以下に軽減
• ・建築躯体とのバランスを考慮した経済的な製造環境の提供が可能

関連リンク

KumagaigumiNow 005 アクティブ免除振装置